لایه نشانی اسپاترینگ یا کند و پاش RF یکی از روش‌های لایه نشانی است که جهت تهیه لایه نازک از مواد نارسانا و عایق در فشارهای پایین و توان اعمالی مشخص استفاده می‌شود. محفظه داخل دستگاه توسط گازی مانند آرگون پر می‌شود و در اثر یونیزاسیون گاز داخل محفظه یون‌های مثبت ایجاد میشوند و یون‌ها به سطح هدف برخورد می‌کنند و با انرژی اتم‌ها را از سطح هدف جدا می‌کنند. در این روش بر اساس نوع منبع تغذیه که فرکانس رادیویی (RF) می‌باشد يک پلاسما گازی (در این مدل گاز آرگون) تحت میدان مغناطیسی بين زیرلایه و هدف تشکیل می‌شود که بمباران ماده هدف توسط يون‌های پرانرژی باعث کنده شدن اتم‌ها از سطح ماده هدف و رسوب کردن آن‌ها روی زیرلایه و تشکيل لايه نازک می‌شود. در این روش امکان لایه‌نشانی مواد نیمه‌رسانا و عایق وجود دارد که می‌توان در فشارهای پایین این مواد را با توان کنترل شده توسط منبع تغذیه دستگاه این فرآیند را انجام داد. در مجموعه اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری یک دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ جهت تهیه نمونه‌های لایه نازک قرار گرفته است.
لایه‌نشانی کند و پاش یا اسپاترینگ RF دانشگاه شریف
آزمون خدمات لایه نشانی کند و پاش یا اسپاترینگ RF
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
آزمایشگاه: اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
برند: یار نیکان صالح مدل OMEGA 403
لایه‌نشانی RF در گستره کاری ضخامت نانومتری و آنگستروم
مجهز به پمپ توربو و فشار نهایی 10 به توان 6- torr
ضخمات سنجی با ضخامت سنج کریستالی
امکان لایه نشانی مواد عایق و نیمه رسانا