میکروالکترونیک
اتاق تمیز میکرو/نانوفب دانشگاه صنعتی شریف یک مجموعه کامل از دستگاه‌ها و خدمات را مطابق استاندارد آزمایشگاه میکروالکترونیک در اختیار دارد که برای بیان جزئیات بیشتر از طرح‌های صنعتی و فعالیت‌هایی که در این مرکز انجام می‌گیرد می‌توان به موارد زیر اشاره کرد:
1- ساخت تراشه‌های میکرو الکترومکانیکی MEMS فشارسنج، شتاب‌سنج، سنسور، موجبر، آشکارساز و دیود و مقاومت
2- فوتولیتوگرافی با دقت 0.5 و 1 میکرون، فوتولیتوگرافی چندلایه برای ساخت تراشه‌های Bio-MEMS و MEMS
3- میکروفلوئیدیک و ساخت تراشه میکروفلوئیدیک میکروکانال همراه با Soft lithography شامل خدمات ساخت قالب (مولد) با فتورزیست SU8 و PDMS همراه با باندینگ PDMS توسط پلاسمای اکسیژن
4- خدمات لایه نشانی اسپاترینگ RF و DC جهت لایه نشانی مواد عایق و رسانا
5- خدمات لایه نشانی تبخیر حرارتی و پرتو الکترونی
1- ساخت تراشه‌های میکرو الکترومکانیکی MEMS فشارسنج، شتاب‌سنج، سنسور، موجبر، آشکارساز و دیود و مقاومت
2- فوتولیتوگرافی با دقت 0.5 و 1 میکرون، فوتولیتوگرافی چندلایه برای ساخت تراشه‌های Bio-MEMS و MEMS
3- میکروفلوئیدیک و ساخت تراشه میکروفلوئیدیک میکروکانال همراه با Soft lithography شامل خدمات ساخت قالب (مولد) با فتورزیست SU8 و PDMS همراه با باندینگ PDMS توسط پلاسمای اکسیژن
4- خدمات لایه نشانی اسپاترینگ RF و DC جهت لایه نشانی مواد عایق و رسانا
5- خدمات لایه نشانی تبخیر حرارتی و پرتو الکترونی
مرکز ساخت قطعات MEMS اتاق تمیز میکرو/نانوفب دانشگاه صنعتی شریف:
این مرکز از چهار بخش تشکیل شده است که به ترتیب برابر است با: 1- بخش پلیمرهای سیلیکونی، 2- بخش لایه نشانی و زدایش خشک 3- بخش زدایش شیمیایی 4- بخش لیتوگرافی که 3 بخش اول در کلاس 10000 و بخش لیتوگرافی در کلاس 1000 می‌باشند.
- در بخش پلیمرهای سیلیکونی تجهیزات کوره، هود شیمیایی، ترازو قرار گرفته است.
- در بخش لایه نشانی و زدایش خشک دستگاه‌های لایه نشانی اسپاترینگ RF/DC، لایه نشانی Ebeam و تبخیر حرارتی، لیزر فایبر، زدایش یون غیرفعال و پلاسما اکسیژن قرار گرفته است.
- در بخش زدایش شیمیایی 3 هود اسید، باز و حلال به همراه مواد شیمیایی به منظور زدایش تر قرار گرفته است.
- در بخش لیتوگرافی یک دستگاه ماسک الاینر، میکروسکوپ متالوژی و بیولوژی، هود wet bench، اسپین کوتر و حمام آلتراسونیک قرار گرفته است.