روش لایه نشانی تبخیر باریکه الکترونی، (Electron Beam Evaporation) با دستگاه لایه نشانی تبخیری جزو یکی از روش‌های لایه نشانی فیزیکی بخار PVD است. با وجود یک پرتو الکترونی گسیل شده از یک فیلامان تنگستنی تحت میدان مغناطیسی ایجاد شده در دستگاه، حرارتی به ماده مورد نظر توسط این پرتو به منظور لایه نشانی وارد می‌شود که باعث می‌شود ماده به نقطه ذوب خود برسد و سپس ماده به فاز بخار خواهد رفت و بخار زیادی از ماده آزاد می‌شود و به سمت زیر لایه حرکت می‌کنند تا فرآیند لایه نشانی و تشکیل یک لایه نازک انجام شود و پوشش‌های متراکم با قابلیت چسبندگی مناسب و بالا از مزیت‌های این روش است.
