دستگاه پلاسما کلینر با ایجاد یک پلاسما و یونیزه کردن گازهای ورودی در یک محفظه خلاء باعث اصلاح سطوح آلوده و حذف مواد آلی می‌شود که به دلیل عدم وجود فرآیند شیمیایی یک روش امن و بدون آسیب محسوب می‌گردد. در مجموعه اتاق تمیز میکرو/نانوفب مرکز خدمات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف دو عدد دستگاه پلاسما وجود دارد. یک دستگاه با توان 50 وات و مدت زمان محدود قادر به اصلاح سطوح و نمونه‌ها با پلاسما اکسیژن می‌باشد. یک دستگاه RIE که با بیشینه توان 200 وات مجهز به خنک کننده زیرلایه با مدت زمان انتخابی جهت اصلاح سطوح و حذف آلودگی‌ها استفاده می‌شود که آماده خدمت‌رسانی به پژوهشگران و صنایع می‌باشد.
دستگاه زدایش سطح و پلاسما اکسیژن
آزمون پلاسمای تحت خلاء و عملیات سطحی با پلاسما
آزمایشگاه: اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
برند: یارنیکان صالح
فشار پایه 10 به توان 2- torr
توانایی انجام عملیات حداکثر 10 دقیقه (دو 5 دقیقه)
آب گریز و آب دوست کردن سطوح با پلاسما اکسیژن
زدایش خشک و فعال کردن سطوح با پلاسما اکسیژن
دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر
آزمون زدایش خشک و سطح با پلاسما
آزمایشگاه: اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
برند: یارنیکان صالح
حداکثر توان 200 وات
فشار پایه 10 به توان 3- تور
توانایی انجام عملیات مطابق زمان تعیین شده و مجهز به چیلر
دارای گازهای اکسیژن، آرگون، هیدروژن آرگون و SF6
زدایش خشک و عمودی، فعال کردن سطوح با پلاسما