

دستگاه زدایش خشک (اچینگ خشک) RIE
آزمون میكرو ماشین كاری در فاز پلاسما زدایش خشک
آزمایشگاه: اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
برند: یارنیکان صالح
فشار پایه 10 به توان 3- torr
مجهز به پمپ روتاری و Roots
مجهز به گازهای SF6, هیدروژن-آرگون، آرگون، اکسیژن
زدایش خشک و میکرو ماشین کاری
در مجموعه اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری یک دستگاه RIE به منظور زدایش خشک (Dry Etching) که از روشهای زدایش پلاسما میباشد قرار گرفته است و میتوان خدمات میکرو ماشین کاری را با استفاده از گازهای واکنش دهنده انجام داد که توسط یک منبع RF فرکانس رادیویی، مولکولهای گاز یونیزه میشوند که با ویفر و مشتقات آن واکنش داده و باعث ایجاد فرآیند زدایش عمودی خواهند شد چون یونهای پرانرژی پلاسما به صورت عمودی به سطح ویفر برخورد میکنند و باعث پدیده زدایش میشوند.