تجیهزات اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری

 Micro & Nano Fabrication Center (MNFC-CR) Equipments

Responsive Image

Responsive Image
در مرکز ساخت قطعات میکرو و نانومتری اتاق تمیز مرکزی شریف (MNFC-CR) ، امکانات به چند بخش لایه‌نشانی، لیتوگرافی نوری (فوتولیتوگرافی)، زدایش شیمیایی، زدایش خشک و پلاسما، پلیمرهای سیلیکونی و برش لیزری تقسیم‌بندی می‌شود. با تجهیزات موجود در این مرکز امکان انجام پروژه‌های پژوهشی در دسته‌بندی‌های مختلف قابل اجرا می‌باشد. در هر حوزه، تجهیزات موجود در مرکز به طور کامل معرفی شده است که می‌توانید با کلیک روی عنوان فارسی هر بخش به صفحه تجهیزات مربوطه منتقل شوید. در صورت نیاز به مشاوره بیشتر و کسب اطلاعات دقیق‌‏تر می‌توانید با کارشناسان مرکز در تماس باشید. همچنین دستگاه‌هایی که آزمون آن‌ها ثبت شده است را می‌توانید با کلیک بر روی آزمون مربوطه ثبت درخواست کنید.

لایه نشانی
 

لایه‌نشانی

 

[ Deposition ]

 
فوتولیتوگرافی
 

لیتوگرافی نوری

 

[ Photolithography ]

 
زدایش شیمیایی
 

زدایش شیمیایی

 

[ Chemical Etching ]

 
زدایش خشک
 

زدایش خشک

 

[ Plasma Etching ]

 
پلیمرهای سیلیکونی
 

پلیمرهای سیلیکونی

 

[ PDMS ]

 
برش لیزری
 

برش لیزری

 

[ Laser Scribing ]